Produktbeskrivelse
Rutheniumsputteringsmålet er et grått mål som består av rutenium med høy renhet. Ruthenium er et kjemisk grunnstoff med symbolet Ru og atomnummer44. Det er et sjeldent overgangsmetall som tilhører platinagruppen i det periodiske systemet. Som de andre metallene i platinagruppen, er ruthenium inert overfor de fleste andre kjemikalier. Ruthenium er vanligvis funnet som en mindre komponent av platinamalm; De fleste rutheniumprodukter brukes i slitesterke elektriske kontakter og tykkfilmsmotstander.
Ruthenium-forstøvningsmål brukes til å avsette Ru tynnfilm, som er en viktig mellomfilm i strukturen til vinkelrett magnetiske opptaksfilmer med flere lag. I det magnetiske opptaksmediet spiller det hovedsakelig en rolle i å redusere gittermistilpasningsspenningen mellom øvre og nedre lag, øke termisk stabilitet og redusere støy.
Som en funksjonell film er tynne filmer av ruthenium og rutheniumlegering mye brukt i magnetisk lagrings- og halvlederindustri.
Ruthenium (Ru) spesifikasjoner
|
Materialtype |
Ruthenium |
|
Symbol |
Ru |
|
Atomvekt |
101.07 |
|
Atomnummer |
44 |
|
Farge/utseende |
Sølvhvit metallic |
|
Termisk ledningsevne |
120 W/m.K |
|
Smeltepunkt (grad) |
2,310 |
|
Koeffisient for termisk ekspansjon |
6.4 x 10-6/K |
Populære tags: ruthenium (ru) sputtering target, Kina ruthenium (ru) sputtering target leverandører, fabrikk
