Sputteringsmål av nikkel-kobolt-jernlegeringer inneholder spesifikke proporsjoner av nikkel (Ni), kobolt (Co) og jern (Fe). Disse legeringene er laget til plane eller roterende sputtering-mål og brukes i halvleder-, solcelle-, presisjonsoptikk og funksjonelle beleggindustrier. Forberedelsen av disse legeringene er spesifikk og krever oppmerksomhet på detaljer for å oppnå jevn kjemisk sammensetning, fast-tetthet, jevn granulering og kvalitet på overflatene.
Forberedelsesmetode for nikkel-kobolt-forstøvningsmål for jernlegering
Råstoffsmelting: Nikkel-, kobolt- og jernblokkene med høy renhet blir proporsjonert og plassert i vakuuminduksjonssmelteovnen. Materialene varmes opp under vakuum inntil de alle er fullstendig smeltet og omrørt for å forhindre sammensetningssegregering.
Støping og forming: En smeltet nikkelkoboltjernlegering helles i en grafittform og bråkjøles for å oppnå en legeringsemne og forhindre dannelse av grove korn.
Smiing og valsing: Legeringene utsettes for høy-temperatursmiing og varmvalsing for å bryte ned støpestrukturen.
Maskinering og liming: Nikkel-kobolt-jernlegeringsmaterialet sages-til form og syntetiseres.
Bruk av nikkel-kobolt-forstøvningsmål for jernlegering
Integrerte kretser, hvor det brukes til Cu-diffusjonsbarrierelag, Ta/CoFe-dobbeltlagselektroder og frie lag med magnetiske tunnelforbindelser (MTJ).
Tynne-filmsolceller, der den fungerer som en bakelektrode eller bufferlag for å forbedre ohmsk kontakt og værbestandighet.
MEMS og sensorer der det brukes i produksjon av induktorer med lavt-tap, magnetiske skjermingslag og mikro-magnetiske aktuatorer.
Funksjonelle overflatebelegg der det brukes som et slitasjebestandig-, korrosjonsbestandig-og dekorativt belegg for bildeler, flyfester og biomedisinske implantater.
