Tungsten Heavy Alloy (WHA) komponenter for ionimplantasjon
Generelt er wolfram og molybden avgjørende materialer for komponenter som brukes i ioneimplantasjonssystemer, spesielt innenfor strålebanen. Disse materialene er valgt for deres evne til å motstå de tøffe forholdene ved ioneimplantasjon, inkludert høye temperaturer, sterke magnetiske felt og aggressive prosessgasser.
Hvorfor wolfram og molybden?
Høye smeltepunkter:
Både wolfram og molybden har svært høye smeltepunkter, slik at de kan tåle de ekstreme temperaturene som genereres under ioneimplantasjon.
Korrosjonsbestandighet:
De viser utmerket korrosjonsbestandighet, som er avgjørende når de utsettes for de reaktive gassene og biproduktene fra ioneimplantasjonsprosessen.
Høy styrke og termisk ledningsevne:
Disse egenskapene er avgjørende for å opprettholde den strukturelle integriteten til komponentene og effektivt spre varme under drift.
Høy renhet:
Materialer med høy renhet minimerer forurensning av ionestrålen og det implanterte materialet.
Typiske ionimplantasjonskomponenter laget av wolfram og molybden:
Kamre:
Vakuumkamrene som huser ionekilden og målområdet er ofte laget av wolfram, molybden eller deres legeringer.
Filamenter:
I ionekilder brukes filamenter laget av wolfram eller wolframlegeringer for å generere plasmaet som ioner ekstraheres fra.
Buespalter:
Disse komponentene er med på å forme og rette ionestrålen, og er ofte laget av wolfram eller molybden.
Holdere og katoder:
Ulike holdere og katoder i ionekilden og strålebanen er laget av disse ildfaste metallene.
Reservedeler:
Tungsten- og molybdenkomponenter brukes også til ulike reservedeler og erstatninger i implantatoren.
Beamline komponenter:
Komponenter innenfor strålelinjen, som strålebegrensere og åpninger, kan også være laget av wolfram eller molybden.
Eksempler på selskaper som leverer ionimplantasjonskomponenter:
Imidlertid er tungsten tunge legeringer (WHA), spesielt W-Ni-Fe og W-Ni-Cu-sammensetninger, mye brukt i ioneimplantasjonssystemer på grunn av deres eksepsjonelle tetthet, strålingsskjermingsegenskaper og termiske stabilitet. Disse legeringene er ideelle for komponenter som krever høy masse, holdbarhet og motstand mot ionebombardement.
Nøkkelegenskaper for ionimplantasjonsapplikasjoner
✔ Høy tetthet (17-18,5 g/cm³) – Effektiv for å blokkere ionespredning og forbedre strålekontrollen.
✔ Utmerket strålingsskjerming – Minimerer røntgenstråler og sekundære elektronemisjoner.
✔ Høyt smeltepunkt og termisk stabilitet – Tåler høy-ionebombardement uten deformasjon.
✔ God bearbeidbarhet – Kan presisjons-bearbeides til komplekse former (sammenlignet med ren wolfram).
✔ Lav utgassing – Kritisk for å opprettholde høye vakuumforhold i ioneimplantater.
Vanlige WHA-komponenter i ionimplantasjon
Beam Stoppers & Apertures – Styrer og former ionestråler.
Faraday Cups – Måler ionestrålestrømmen nøyaktig.
Beskyttende blokker og kollimatorer – Reduserer uønsket ionespredning.
Wafer Handling Components – Holdbare deler for halvlederbehandling.
Isolatorkomponenter - Høy dielektrisk styrke der det er nødvendig.
Hvorfor velge WHA fremfor Pure Tungsten?
Bedre bearbeidbarhet (på grunn av Ni/Fe/Cu bindemiddelfase).
Høyere bruddseighet (mindre sprø enn ren W).
Kostnadseffektivt-for komplekse geometrier.
Tilgjengelige karakterer og tilpasning
Standardkarakterer: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Egendefinerte komposisjoner og dimensjoner (stenger, plater, maskinerte deler)
Overflatefinish: Polert, slipt eller belagt for forbedret ytelse.
Hvis du har noen potensielle henvendelser, vennligst kontakt oss: info@yitechtrading.com